激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。中圖儀器SJ6000超精密激光干涉儀配備了EC20環(huán)境補(bǔ)償單元，由環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)（內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個(gè)材料溫度傳感器組成，可實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實(shí)時(shí)高精度檢測(cè)。

特點(diǎn)

1.精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2.功能廣

可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實(shí)現(xiàn)龍門(mén)機(jī)床雙軸同步測(cè)量；

可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

3.軟件強(qiáng)

友好的人機(jī)界面；

豐富的應(yīng)用功能模塊；

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簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

除了環(huán)境適應(yīng)能力好，SJ6000超精密激光干涉儀在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測(cè)量振動(dòng)幅度、平面度、線速度、角速度等。

測(cè)量機(jī)床直角

如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等），SJ6000激光干涉儀垂直度測(cè)量是通過(guò)比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱(chēng)正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱(chēng)正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測(cè)量過(guò)程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動(dòng)直線度反射鏡。

測(cè)量機(jī)床垂直度

典型情況下對(duì)于1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi)。