產(chǎn)品分類
Product CategoryVT6000共聚焦光學(xué)類測(cè)量顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
SuperViewW三維形貌顯微白光干涉儀用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量,以3D非接觸方式,測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。
NS系列國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀測(cè)量膜厚儀器是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器,其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。它采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率。
SuperViewW白光干涉3D表面形貌儀基于白光干涉原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。典型結(jié)果包括表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等等);幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和體積,特征圖形的位置和數(shù)量等等)。
VT6000共聚焦三維成像分析測(cè)量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
NS系列納米測(cè)厚臺(tái)階儀采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。
中圖儀器NS系列國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀快速測(cè)量效率高,集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。
中圖儀器SuperViewW白光干涉超精密工件表面3D形貌儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短,確保了高款率檢測(cè)。
微信掃一掃