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白光干涉顯微輪廓儀

簡要描述:SuperViewW1白光干涉顯微輪廓儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;以白光干涉技術為原理,可對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。能對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

  • 更新時間:2024-05-12
  • 產品型號:SuperViewW1
  • 廠商性質:生產廠家
  • 訪  問  量:1181

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產地類別國產
重量150kg應用領域綜合

SuperViewW1白光干涉顯微輪廓儀以白光干涉技術為原理,可對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


國產白光干涉儀品牌,白光光學輪廓儀.jpg

產品功能

1)SuperViewW1白光干涉顯微輪廓儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


國產白光干涉儀品牌,白光光學輪廓儀.jpg


輪廓分析步驟:

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方;

2.檢查電機連接和環(huán)境噪聲,確認儀器狀態(tài);

3.使用操縱桿調節(jié)Z軸,找到樣品表面干涉條紋;

4.微調XY軸,找到待測區(qū)域,并重新找到干涉條紋;

5.完成掃描設置和命名等操作;

6.點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會);

7.臺階樣品分析第一步:校平;

8.進入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“校平"圖標,和平面樣品不同,臺階樣品需手動選取基準區(qū)域,選好基準區(qū)域后,先“全部排除"再“包括";

9.若樣品表面有好幾處區(qū)域均為平面且高度一致,可多選擇幾個區(qū)域作為基準面進行校平;

10.臺階高度測量:線臺階高度測量

11.進入分析工具界面,點擊“臺階高度"圖標,即可直接獲取自動檢測狀態(tài)下的面臺階高度相關數(shù)據(jù);

12.在右側點擊“手動檢測",根據(jù)需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區(qū)域,數(shù)據(jù)欄可直接讀取兩個區(qū)域的面臺階高度數(shù)值;

13.臺階高度測量:線臺階高度測量

14.進入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“提取剖面"圖標,使用合適方向的剖面線,提取目標位置的剖面輪廓曲線;

15.進入分析工具界面,點擊“臺階高度"圖標,由于所測為中間凹槽到兩側平面高度,因此點擊右側工具欄,測量條對數(shù)選擇“2",將紅色基準線對放置到凹槽平面中間,兩對測量線對分別放置在兩側平面,即可在數(shù)據(jù)纜讀取臺階高度數(shù)據(jù)。


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