機(jī)床的定位精度和重復(fù)定位精度都是用激光干涉儀來(lái)檢測(cè)的。中圖儀器SJ6000機(jī)床激光干涉儀是高精度線性位移測(cè)量?jī)x器，采用氦氖激光器作為光源。其精度高，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車(chē)間條件下測(cè)量大距離用。

SJ6000機(jī)床激光干涉儀可以通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量。其線性定位測(cè)量的精度是0.5ppm，可以滿足現(xiàn)在所有類(lèi)型數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)，它可以棄普通車(chē)間進(jìn)行應(yīng)用，具有更強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)能力，同時(shí)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，配以相應(yīng)元件后還可以測(cè)量角度、線速度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等。

其線性鏡組應(yīng)用于機(jī)器軸的定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等；也可用于機(jī)器軸的動(dòng)態(tài)測(cè)量分析。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)： SJ6800

產(chǎn)品名稱： 激光干涉儀

穩(wěn)頻方式： 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度： 0.04ppm

測(cè)量距離：≤（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）

測(cè)量分辨力：1nm

測(cè)量至大速度：4m/s

線性測(cè)量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)

主要特點(diǎn)：絕對(duì)測(cè)量、恒測(cè)力、無(wú)阿貝誤差