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SuperViewW1微米級(jí)白光干涉儀可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器國內(nèi)白光干涉儀的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。測(cè)件尺寸可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸。

SuperViewW1白光干涉儀器專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量，具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。

?中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀應(yīng)用用途多樣、設(shè)計(jì)簡潔，能夠測(cè)量不同的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和波度，涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測(cè)量應(yīng)用。

中圖儀器SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1國產(chǎn)白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，讓3D測(cè)量變得簡單。廣泛應(yīng)用于3C電子、微納米材料、微機(jī)電、光學(xué)加工、半導(dǎo)體、超精密加工等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數(shù)的測(cè)量和分析。

SuperView W3三維白光干涉形貌儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的平整度、粗糙度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器白光干涉儀可以設(shè)置分析模板，提供多文件分析、一鍵分析等輔助分析功能，結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)精密工件微觀形貌的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。